英國(guó)泰勒霍普森輪廓測(cè)量技術(shù),形成接觸式與非接觸式兩大技術(shù)體系。接觸式代表如 Form Talysurf i 系列,配備 1mm 垂直量程與 16nm 分辨率,0.50μm/120mm 水平直線度誤差,可同步完成粗糙度與輪廓測(cè)量,450mm 機(jī)動(dòng)立柱適配大型工件檢測(cè)。非接觸式則以 CCI MP 系列為核心,垂直精度達(dá) < 0.2 埃 RMS 重復(fù)性,結(jié)合 1048×1048 像素陣列,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)細(xì)節(jié)捕捉。另有 LUPHOScan 850 HD 采用多波長(zhǎng)干涉技術(shù),可測(cè) 850mm 口徑工件,精度達(dá) <λ/20。
所有設(shè)備均搭載專業(yè)軟件,如 TalyProfile 支持 ISO 標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)分析與自動(dòng)報(bào)告生成,Ultra 軟件可實(shí)現(xiàn)雙輪廓對(duì)比與 3D 形貌分析。其產(chǎn)品已深度應(yīng)用于航空航天、汽車零部件、半導(dǎo)體、精密光學(xué)等領(lǐng)域,從車間現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)到實(shí)驗(yàn)室科研分析均能勝任,成為全球質(zhì)量控制的信賴之選。




